Beheer van swart deeltjies op wolfraamkroes Verdampte goue filmoppervlak

Desember 12, 2019

Die studie het bevind dat wanneer gebruik wolfram smeltkroeë en elektronstraal verdamping coating toerusting om goue dun films voor te berei, binne 'n sekere krag reeks, die aantal swart deeltjies op die oppervlak van die damp-gedeponeerde goud film afgeneem met die toename van krag en het effens toegeneem bo die kritieke krag.

Deur die deklaagproses te verbeter, 'n geskikte smeltgoudkrag te kies om te stabiliseer, en dan die krag toepaslik te verminder, kan nie net die tempo van gouddampneerslag verminder en stabiliseer nie, maar ook die aantal swart deeltjies op die oppervlak van die gouddampneerlegging verminder. film, wat beter voldoen aan mikro-nano-grootte toestelelektrodes en Die behoefte aan hoë kwaliteit goud dun films.