Die belangrikste prestasievereistes van teikens is:

    suiwerheid

   Suiwerheid is een van die belangrikste prestasie-indekse van teiken, want die suiwerheid van sy materiaal het 'n groot invloed op die prestasie van film. In praktiese toepassings is die suiwerheidsvereistes van sy materiale egter ook anders. Byvoorbeeld, met die vinnige ontwikkeling van die mikro-elektroniese industrie, is die grootte van silikonwafel van 6, 8 "tot 12", en die bedradingwydte word verminder van 0.5um tot 0.25um, 0.18um of selfs 0.13um. In die verlede kon 99.995% van die teikenmateriaalsuiwerheid aan die tegniese vereistes van 0.35umIC voldoen, terwyl die voorbereiding van 0.18um-draad 99.999% of selfs 99.9999% van die teikenmateriaalsuiwerheid vereis.

   Onreinheid inhoud

   Die onsuiwerhede in die vaste stof, die suurstof en waterdamp in die porieë is die hoofbronne van die afgesette films. Verskillende teikens het verskillende vereistes vir verskillende onsuiwerheidsinhoude. Byvoorbeeld,Weerstaan ​​hoë temperatuur korrosie skyfvorm Tantaal sputtering teiken,

suiwer aluminium en aluminiumlegeringsmateriale wat in die halfgeleierbedryf gebruik word, het spesiale vereistes vir alkalimetaalinhoud en radioaktiewe elementinhoud.

   digtheid

  Ten einde die porositeit in teiken vaste stowwe te verminder en die eienskappe van gesputterde films te verbeter, moet die teikenmateriale gewoonlik hoë digtheid hê. Die digtheid beïnvloed nie net die sputtertempo nie, maar beïnvloed ook die elektriese en optiese eienskappe van die films. Hoe hoër die teikendigtheid, hoe beter is die werkverrigting van die film. Daarbenewens sal die verhoging van die digtheid en sterkte van die teiken die teiken in staat stel om die termiese spanning tydens sputtering beter te weerstaan. Digtheid is ook een van die sleutelprestasie-aanwysers.

   Korrelgrootte en korrelgrootte verspreiding

   Gewoonlik is die teiken polikristallyne struktuur, en die korrelgrootte kan van mikron tot millimeter wees. Vir dieselfde teiken is die sputtertempo o met 'n klein korrelgrootte vinniger as met 'n groot korrelgrootte, en die dikteverspreiding van die dun film wat deur die teiken met 'n klein korrelgrootte verskil (eenvormige verspreiding) neergelê word, is meer eenvormig.

 leer meer inligting oor Weerstaan ​​hoë temperatuur korrosie skyfvorm Tantaal sputtering teiken