kennis

Hoë suiwerheid sputtering teiken industrie ketting

2024-01-05 18:00:06

   Hoë-suiwer en selfs ultra-hoë suiwer metaal materiale is die basis van die vervaardiging van hoë-suiwer sputter teiken materiaal. Neem sputterende teikenmateriale vir halfgeleierskyfies as 'n voorbeeld, as die onsuiwerheidsinhoud van sputterteikenmateriaal te hoog is, kan die film wat gevorm word nie aan die vereiste elektriese eienskappe voldoen nie, en deeltjies word maklik op die wafer gevorm tydens sputterproses, wat lei tot kortsluiting of skade, wat die prestasie van die film ernstig beïnvloed. Gewoonlik word die suiwering van hoë suiwer metale verdeel in chemiese en fisiese suiwering. Om hoër suiwer metaalmateriaal te verkry en onsuiwerhede tot die grootste mate te verwyder, is dit nodig om chemiese en fisiese suiwering te kombineer. Nadat die metaal tot 'n redelik hoë suiwerheid gesuiwer is, moet dit dikwels met ander metaalelemente in verhouding wees voordat dit in gebruik geneem kan word. In hierdie proses moet dit deur smelt-, legerings- en gietstappe gaan: deur hoësuiwer metaal te raffineer, oortollige gasse soos suurstof en stikstof te verwyder; die byvoeging van 'n klein hoeveelheid legeringselemente om dit volledig gekombineer te maak met hoë suiwer metaal en eweredig versprei te maak; en uiteindelik giet dit in nie-suiwer metaal. Die gebrekkige ingot voldoen aan die vereistes van metaalsamestelling en -grootte in produksie en verwerking.

461010c8f38756896a8c69b08dea7abf

   In die vervaardigingsproses van sputtering-teiken moet eerstens prosesontwerp volgens die werkverrigtingvereistes van stroomafwaartse toedieningsvelde uitgevoer word, dan moet herhaalde plastiese vervorming en hittebehandeling uitgevoer word. Sleutelindekse soos korrelgrootte en oriëntasie moet presies beheer word, en dan moet sweiswerk, meganiese verwerking, skoonmaak en droog, vakuumverpakking en ander prosesse uitgevoer word. Die proses betrokke by sputtering teiken vervaardiging is fyn en gevarieerd. Die prosesbestuur- en vervaardigingstegnologievlak sal die kwaliteit en kwaliteit van die sputterteiken direk beïnvloed.

Sputterbedekking verwys na die proses waarin 'n voorwerp gesputter word wanneer dit deur ione geraak word, en word gemaak deur die gesputterde voorwerp aan die teikensubstraat te heg. Sputterende teiken is die teikenmateriaal wat deur hoëspoed-gelaaide deeltjies gebombardeer word. Hierdie skakel is die mees veeleisende skakel in die sputterende teikenbedryfsketting vir produksietoerusting en tegnologie. Die kwaliteit van sputterfilm het 'n belangrike impak op die kwaliteit van stroomaf produkte.

    In die proses van sputterbedekking moet sputterende teikenmateriaal in die masjien geïnstalleer word om die sputterreaksie te voltooi. Die masjien het sterk spesifisiteit en hoë presisie. Die mark is lank reeds gemonopoliseer deur Amerikaanse en Japannese multinasionale groepe. Die belangrikste toerustingverskaffers sluit in AMAT (VSA), ULVAC (Japan), ANELVA (Japan), Varian (VSA), ULVAC (Japan) en ander bekende ondernemings in die bedryf.

 


JY MAG LIKE

Tantaal draad

Tantaal draad

Sien meer
niobium naatlose pyp

niobium naatlose pyp

Sien meer
suiwer niobiumplaat

suiwer niobiumplaat

Sien meer
Nikkel strook

Nikkel strook

Sien meer
Naatlose nikkellegeringspyp

Naatlose nikkellegeringspyp

Sien meer
uitbreidingslegering

uitbreidingslegering

Sien meer